Leave Your Message

Қаптау жұмыстарының барысы

Әдеттегі PVD жабынының процесі (7 кезең)

01

Жүктелуде

Үлгі жүйесін жабын камерасына салыңыз.
Жүктелуде
02

Вакуумдық сорғы

ПВД жабындарын төсеу кезінде жоғары вакуум қажет. Хуашенгтің жабын жүйесі екі кезеңнен тұрады: біріншіден, механикалық сорғы вакуумдық камераның қысымын 1000 мбардан 10-1 мбарға дейін төмендетеді; содан кейін турбомолекулалық сорғы шамамен 1X10-6 м бар жоғары вакуум жасайды.
Вакуумдық сорғы
03

Жылыту

Камераны шамамен 500 ℃ дейін қыздырыңыз, бұл дәстүрлі өңдеу температурасы.
Жылыту
04

Плазмалық ою

Huasheng жабын жүйесі үш түрлі ою процесінің технологиясын қолданады: HUASHENG® (бүйірлік жарқыл разряды); аргон плазмалық ою, жарқыл разряды; металл иондық ою (Ti+, Cr+).
Салқындату
05

Тұндыру

Қаптауды жағу PVD (доғалық иондық қаптау, магнетронды тозаңдату немесе интеграцияланған катодты HUASHENG® технологиясы) көмегімен жүзеге асырылады.
Жылыту
06

Салқындату

Қаптау камерасын суытыңыз.
Вакуумдық сорғы
07

Жүк түсіру

Жабу камерасынан үлгі жүйесін босатыңыз.
Жүк түсіру
01020304050607
01

1-процесс

02

2-процесс

03

3-процесс

04

4-процесс

05

5-ші процесс

06

6-процесс

07

7-ші процесс