Қаптау жұмыстарының барысы

Үлгі жүйесін жабын камерасына салыңыз.

ПВД жабындарын төсеу кезінде жоғары вакуум қажет. Хуашенгтің жабын жүйесі екі кезеңнен тұрады: біріншіден, механикалық сорғы вакуумдық камераның қысымын 1000 мбардан 10-1 мбарға дейін төмендетеді; содан кейін турбомолекулалық сорғы шамамен 1X10-6 м бар жоғары вакуум жасайды.

Камераны шамамен 500 ℃ дейін қыздырыңыз, бұл дәстүрлі өңдеу температурасы.

Huasheng жабын жүйесі үш түрлі ою процесінің технологиясын қолданады: HUASHENG® (бүйірлік жарқыл разряды); аргон плазмалық ою, жарқыл разряды; металл иондық ою (Ti+, Cr+).

Қаптауды жағу PVD (доғалық иондық қаптау, магнетронды тозаңдату немесе интеграцияланған катодты HUASHENG® технологиясы) көмегімен жүзеге асырылады.

Қаптау камерасын суытыңыз.

Жабу камерасынан үлгі жүйесін босатыңыз.