-
Вакуумдық жабын жабдықтарының жұмыс принципі қандай?
+
A: Ол нысана материалдарды вакуумдық камерада буландыру және оларды субстраттарға біркелкі орналастыру үшін наноөлшемді функционалды жабындар түзу үшін физикалық бу тұндыру (PVD) немесе химиялық бу тұндыру (CVD) технологиясын пайдаланады.
-
Жабдықты күнделікті күтіп ұстау қандай талаптарды талап етеді?
+
A: 1) Вакуумдық камераның қалдықтарын әрбір 50 жұмыс сағатында тазалаңыз; 2) Механикалық сорғы майының деңгейін және тығыздағыштың тұтастығын ай сайын тексеріңіз; 3) Пленка қалыңдығын бақылау жүйелерін тоқсан сайын калибрлеңіз. Оңтайлы жұмыс істеу үшін түпнұсқа шығын материалдарын пайдалану ұсынылады.
-
Бұл жабдықпен қандай материалдарды бояуға болады?
+
A: Металлдармен (Al/Ti), керамикамен (Si3N4), полимерлермен және т.б. үйлесімді. Ең үлкен негіз өлшемі: Φ300мм×500мм. Дұрыс емес пішінді дайындамаларға жабынды қолдайды.
-
Жабдықтың энергия шығыны қандай?
+
A: Стандартты үлгілерде күту режимінде энергияны үнемдеу режимі бар 15 кВт номиналды қуат бар. Толық жүктеме кезінде жұмыс істеу құны шамамен ¥9/сағ құрайды (өнеркәсіптік тариф бойынша ¥0,6/кВт/сағ).
-
Процессорлық ауытқуларды қалай жоюға болады?
+
A: 1) HMI арқылы соңғы 10 партиялы процесс қисықтарын салыстырыңыз; 2) Камераның тығыздалғанын тексеру үшін вакуумдық ағып кету детекторын пайдаланыңыз; 3) Қашықтан диагностикалау үшін техникалық қолдау қызметіне хабарласыңыз (тәулік бойы қолжетімділік).