HD500
HD500 - HD сериялы жаңа композиттік иондық жабын жабдықтары
Бірегей бүйірлік ою
√ Бүйірлік оюдағы ерекше біркелкілік
√ Керемет ою-өрнек қасиеті және ыңғайлы техникалық қызмет көрсету
Композиттік HiPIMS магнетронды шашырату
√ DC + HiPIMS MS көздерімен жабдықталған, ол Nb, BC, W, V және т.б. сияқты отқа төзімді металдарды тұндыру үшін энергия қажеттіліктерін қанағаттандыра отырып, жоғары тұндыру жылдамдығын қамтамасыз етеді және барлық дерлік материалдарды тұндыру мүмкіндігіне ие.
Плазмамен оңтайландырылған көп доғалы көз
√ 6 дөңгелек көп доғалы нысана көздерінің 3 тобымен жабдықталған, жасырын доғаны іске қосу механизмі сенімді және күтіп ұстау оңай.
√ Көп элементті және көп қабатты жұқа пленкалы тұндыруға оңай қол жеткізуге болады.
√ Оңтайландырылған плазмалық көп доғалы көз тегіс жұқа қабықша бетін қамтамасыз етеді.
√ Мақсатты материалды пайдалану деңгейі өте жоғары.
Бірнеше тұндыру технологиясы платформалары
√ Бір платформада бірнеше жұқа қабықшалы тұндыру технологияларын, соның ішінде DC MS + HiPIMS MS + көп доғалы иондық қаптаманы жүзеге асырады және бір партияда бір, құрама және аралас жабу әдістерін енгізе алады.
| Аты | Параметр |
| Қаптау технологиясы | Жаңа композиттік жабын технологиясы |
| Ою | Бүйірлік ион көзі (ыстық жіпше) |
| Көп доғалы көздер (саны) | 6 |
| Магнетронды катодтар (саны) | 1 |
| Жабдық өлшемі (мм) | ұзындығы 3400*ені 1600*биіктігі 2600 |
| Камера көлемі (м³) | 0,7 |
| Тиімді жабын ауданы (мм) | Ф410*400 |
| Ең жоғары жұмыс температурасы (℃) | 700 |
| Жүк көтергіштігі (ағаштар саны) | 5 |
| Қалақшаны тиеу (APMT1135) | 6000 дана |
| Шыбық пышағын тиеу сыйымдылығы (D4*50L) | 1800 дана |
| Максималды жүктеме салмағы (кг) | 300 |
| Біліктің диаметрі | F130 |
| Процесс уақыты | AlTiN：6~8 сағ |
